蛍光X線分析法（XRF）　波長分散型とエネルギー分散型の違い

　（XRF：X-ray　Fluorescence Spectrometer）

　蛍光X線分析（XRF）における２種類の検出器（波長分散型、エネルギー分散型）の特徴の概略については、すでに蛍光X線分析の項で述べているが、ここでは改めてその特徴をまとめる。

　以下では、ラボレベルで一般的に使用されるエネルギー分散型を中心に説明する。

• 帰属できないピークがある
  予想の組成と合わない
  目的に合わせた測定条件が分からない
  サンプリングの方法が分からない
  きれいなスペクトルが取れない

  

　エネルギー分散型蛍光�]線分析装置は、測定が波長分散型とはことなり、多元素同時分析であることから、迅速・簡便に含有元素をすぐに分析することができる。また、装置構成も単純であることから、波長分散型に比べて、前述のように小型できることはもちろん、安価に実現できる。また、光学系、検出系の配置自由度が高いこともあり、試料室や試料配置に様々な工夫が可能ななことから、幅広い試料形態の分析が可能となる。

　ただし、上記のように、バックグラウンドが高いために検出下限値が高く、分解能が低いために高精度な分析は困難である。また、検出器の特性上、軽元素側で感度が低下する傾向があることから、測定対象物が軽元素中心のものである場合には不向きと言える。さらに、別項（蛍光X線分析法（XRF）　妨害（ゴースト）ピークについて）で述べているような様々な要因によってゴーストピークが現れることがあるので、解析には注意を要する。
　これらの影響を軽減するために、エネルギー分散型の装置では、フィルターなどを用いて励起X線の波長を狭小化（単色化など）することによって、白色X線で発生するバックグランドの上昇等を抑制するような工夫がされている装置もある。

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